Semiconductor business
半導(dǎo)體業(yè)務(wù)
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MEMS微振鏡
一種用于雙軸光學(xué)掃描的高性能振鏡。采用MEMS技術(shù)在硅襯底上形成鏡面，通過(guò)電磁驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)水平掃描和垂直掃描。
證券代碼：300131
半導(dǎo)體業(yè)務(wù)
一種用于雙軸光學(xué)掃描的高性能振鏡。采用MEMS技術(shù)在硅襯底上形成鏡面，通過(guò)電磁驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)水平掃描和垂直掃描。
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