什么是MEMS振鏡

    MEMS振鏡是一種基于微機電系統(tǒng)(MEMS,Micro-Electro-Mechanical System)技術制作而成的微小可驅動反射鏡。鏡面直徑通常只有幾毫米。與傳統(tǒng)的光學掃描鏡相比，具有重量輕，體積小，生產成本較低的優(yōu)點。在光學，機械性能和功耗方面表現更為突出。

圖1：MEMS振鏡工作示意圖

      圖2： 電磁式MEMS振鏡

      MEMS振鏡的運動方式包括平動和扭轉兩種機械運動。對于扭轉MEMS振鏡，當其光學偏轉角度較大（達到10°以上），可以實現激光的指向偏轉、圖形化掃描、圖像掃描。

MEMS振鏡的市場應用

      基于其特異的性能，MEMS振鏡已滲透到消費電子、醫(yī)療、軍事國防、通訊等領域。這其中有已經量產的應用，還有許多概念性的應用。主要應用領域有三個方面：激光掃描、光通訊、數字顯示。激光掃描主要是指激光雷達、3D攝像頭、條形碼掃描、激光打印機、醫(yī)療成像；光通訊主要指光分插復用器、光衰減器、光開關、光柵；數字顯示指高清電視、激光微投影、數字影院、汽車抬頭顯示（HUD）、激光鍵盤、增強現實（AR）等方面的應用。以下特對MEMS振鏡在激光雷達和投影顯示領域的應用情況。

      1.MEMS振鏡在激光雷達方面的應用

      早在1960年激光雷達概念就已提出，近些年來激光雷達才進入迅速發(fā)展時期，學術界和產業(yè)界一致認為激光雷達是無人駕駛（包括自動駕駛車輛，AGV，UAV等）不可或缺的探測和傳感部件。激光雷達可用于物體探測與規(guī)避，物體識別與跟蹤，即時定位與地圖構建等。隨著無人駕駛的快速發(fā)展，對于激光雷達的需求日益增長。

      何為MEMS激光雷達？MEMS振鏡（代替宏觀機械式掃描器）通過在微觀尺度上實現激光雷達發(fā)射端的光束操縱，采用上述光束操縱方式的激光探測和測距系統(tǒng)稱為MEMS激光雷達。激光雷達采用MEMS振鏡作為激光光束掃描元件，具有體積小、宏觀結構簡單、可靠性高、功耗低等優(yōu)勢，是目前激光雷達實現落地應用的最合適的技術路徑。

      一是MEMS振鏡幫助激光雷達擺脫了笨重的馬達、多棱鏡等機械運動裝置，毫米級尺寸的微振鏡大大減少了激光雷達的尺寸，無論從美觀度、車載集成度還是成本角度來講，其優(yōu)勢都令人驚嘆！

      第二，MEMS振鏡的引入可以減少激光器和探測器數量，極大地降低成本。傳統(tǒng)的機械式激光雷達要實現多少線束，就需要多少組發(fā)射模塊與接收模塊。而采用二維MEMS振鏡，僅需要一束激光光源，通過一面MEMS振鏡來反射激光器的光束。

圖3：MEMS激光雷達的工作原理

      2.顯示領域的應用

      微機電系統(tǒng)(MEMS)顯示技術以卓越的圖像質量而聞名，全球80%以上的數字影院都采用這種技術?，F在，尺寸、效率和亮度上的最新創(chuàng)新使這一成熟技術也可用于外形小巧且電池供電的設備，允許開發(fā)商、品牌廠商和系統(tǒng)集成商創(chuàng)建大量應用和設計產品，幾乎可將任何表面轉換成高品質的高清投影顯示器。如高清電視、激光微投影（手機、平板電腦和便攜式投影儀等為載體）、數字影院、汽車抬頭顯示（HUD）、激光鍵盤、增強現實（AR）等。MEMS激光投影相比傳統(tǒng)光源具有不可比擬的優(yōu)點:

      色彩好、飽和度高

      激光投影機能實現遠大于傳統(tǒng)光源的色彩空間，具有極好的方向性，光束的發(fā)散立體角很小。

      壽命長，可靠性好

     普通投影機的燈泡光源壽命一般在上千小時為極限，而激光光源的壽命可以達到數萬小時之久，可以做到真正的免維護、高可靠性。

      高功率、低能耗

     激光光源的功耗遠低于氙燈燈泡，此外因為結構的原因，也不會有爆碎的危害。

圖4：手機投影顯示應用    

圖5：手機投影顯示應用

圖6：汽車抬頭顯示（HUD）應用

圖7：AR眼鏡應用

（注：以上圖片均來源于網絡）

      同時在物聯網領域，基于MEMS和MOEMS（微型光機電系統(tǒng)）技術的交互式投影模塊正在成為新的解決方案，通過該模塊將虛擬用戶界面圖像投影到表面上，并持續(xù)掃描，以檢測用戶的手勢和交互，例如觸摸、拖動或點擊，無需受到物理控制撥號和按鈕的阻礙，將為物聯網和消費產品空間帶來革新，為“打造更加智能的世界”發(fā)揮巨大的作用。

英唐MEMS振鏡系統(tǒng)的布局及應用

      公司子公司英唐微技術一直專注于光電轉換和圖像處理的模擬IC和數字IC產品的研發(fā)生產，通過其多年的光電轉換技術積累和自有晶圓生產線提供的產能保證，近年來一直布局MEMS振鏡產品市場。

      目前英唐微技術MEMS振鏡的第一代產品主要應用于車用激光雷達的MEMS組件，已經實現小批量生產及銷售。

表1：英唐微技術MEMS振鏡初代產品規(guī)格（激光雷達用）

      上表所示產品規(guī)格為英唐微技術初代產品規(guī)格，目前相關指標已有較大程度的提升，其中用于車載激光雷達的更大直徑即更大視場角的第二代MEMS振鏡（φ4mm）產品也正在設計開發(fā)中；同時英唐微技術也正在研發(fā)面向激光投影顯示等應用場景更加豐富的MEMS振鏡產品。

      基于MEMS振鏡產品較高的技術門檻和廣泛應用前景，公司將牢牢把握現有優(yōu)勢，加快拓展MEMS振鏡產品在車用激光雷達市場的銷售規(guī)模，同時也將持續(xù)投入研發(fā)力量，盡快實現公司自有產品在激光投影、AR以及IOT顯示領域的產業(yè)化應用。